根據(jù)集束型裝備的不同特征,可以對其調度問題進行詳細分類。借用經典生產系統(tǒng)分類法, RLF7030T-3R3M4R1給出了針對集束型裝備調度問題的三鄰域(α/'//),其中參數(shù)α定義了系統(tǒng)物理特征,參數(shù)'定義了晶圓加工特征,參數(shù)γ則定義了問題優(yōu)化目標。

   系統(tǒng)物理特征

   CTF表示流水線集束型裝備(C1ustcr Took Flowshop)。r99代表加工步驟的數(shù)目,向量中的每個值代表對應的加工步驟并行模塊數(shù)的量;'代表機械手數(shù)目;集束型裝備提供幾個裝載室作為輸入/輸出緩沖模塊,表示每個集束型裝各緩沖模塊數(shù)目;機械手類型分為單臂、同向雙臂、反向雙臂及三臂機械手,g=1和g=2分別表示單臂和雙臂機械手;集束型裝備的加工模塊位置可分為線性、半圓形和環(huán)形分布,大多數(shù)集束型裝備采用的是環(huán)形分布,也稱星形分布,用符號`=@表示。