按照區(qū)分問題的關鍵因素――晶圓加工時間,將集束型裝備調度問題分為三類:有限RTL8212F-GR等待(IntcⅣa1)、無等待(No Wait)和無限等待(Frcc)。無限等待是指晶圓在加工模塊上完成加工后,必要時可以一直停留在加工模塊上,直到機械手空閑時完成搬運,即晶圓在加工模塊上的等待時間為無限長,該類加工時間約束最松弛。無等待是指晶圓在加工模塊上的加工時間達到給定值時,必須立刻通過機械手從加工模塊上搬走,否則會產生廢品,即不允許已經加工完成的晶圓停留在加工模塊上。這類自動化生產系統(tǒng)在高精度PCB電鍍處理、食品加工和鋼鐵冶煉中較為常見。為了盡量避免晶圓在空氣中被氧化、污染,或者為保持晶圓的加I溫度,生產系統(tǒng)要求晶圓的加工作業(yè)必須連續(xù)進行,加工作業(yè)之間不能有等待時間。由于有無等待約束,一旦晶圓進入系統(tǒng)的時間確定,晶圓在每個加工模塊上的加工開始和結束時間、搬運作業(yè)的開始和結束時間就都可以被確定。有限等待是指晶圓在加工模塊上完成加工后,可以在有限時間范圍內停留在加工模塊上。

   本書將這一約束稱為晶圓滯留時間約束。這類調度問題除了要確定晶圓加工排序和機械手搬運作業(yè)排序外,還要確定晶圓在每個加I模塊上的實際加工(停留)時間。由于晶圓實際加工(停留)時間可以是連續(xù)區(qū)間內的任意值,這類問題已被證明是NP-hard問題

Trave卜mctric∈“,GE)是指機械手在任意兩加工模塊移動的速度,這個速度可以是常數(shù)(Constant)、遞增(Additivc)和歐氏(Euclidca11)。part-typc表示加工類型,pa⒒-b/pe=SP是指單一類型晶圓加工,pa⒒-t”e=MP表示多種類型晶圓加工;prod-stratcgy∈

(cyClic一廴a11,CRM)是生產策略,qclic攻代表周期性生產策略,a1代表周期性生產策略和非周期性生產策略的混合,CRM代表混合晶圓加I策略。