時(shí)序圖是一種用于描述集束型裝備的加工模塊和機(jī)械手使用情況的甘特圖。時(shí)序圖R060047300內(nèi)在思想簡(jiǎn)單,即以圖示的方式通過活動(dòng)列表和時(shí)間刻度,形象地表示任何特定項(xiàng)目的活動(dòng)順序與持續(xù)時(shí)間。時(shí)序圖基本是一條線條圖,橫軸表示時(shí)間,縱軸表示活動(dòng)(項(xiàng)目),線條表示在整個(gè)期間上計(jì)劃和實(shí)際的活動(dòng)完成情況。  

   早期有關(guān)集束型裝各的研究主要是生產(chǎn)率的問題。研究中都假設(shè)作業(yè)時(shí)間是確定 的并且沒有滯留時(shí)間約束。大部分情況下,集束型裝備處于穩(wěn)定狀態(tài),周期性進(jìn)行生產(chǎn),穩(wěn)定狀態(tài)下的生產(chǎn)率取決于加工節(jié)拍。本章參考文獻(xiàn)[10,11]的研究成果具有代表性,研究中采用時(shí)序圖建模,并且推導(dǎo)串一并、混合晶圓流模式、重入晶圓流模式的吞吐量理論模型。

   本章參考文獻(xiàn)開發(fā)一個(gè)仿真模型,驗(yàn)證本章參考文獻(xiàn)[10,11]推導(dǎo)的系統(tǒng)最大吞吐量理論模型。本章參考文獻(xiàn)[10]提出的理論模型都是針對(duì)單臂集束型裝備。本章參考文獻(xiàn)[11]提出雙臂機(jī)械手集束型裝備的理論模型,推導(dǎo)出雙臂機(jī)械手集束型裝各穩(wěn)態(tài)時(shí)的基本周期,并進(jìn)一步對(duì)單臂與雙臂機(jī)械手集束型裝備的性能做比較。研究結(jié)果表明雙臂機(jī)械手能夠提高生產(chǎn)率,交換策略是一個(gè)有效的調(diào)度策略。以上推導(dǎo)的理論模型都只是考慮單批次晶圓加工。