在單集束型裝備中,MIP模型的方法具有靈活高效的特點,調(diào)度情形改變往往只要修改少量的約束條件即可適應新的晶圓流模式;MIP模型無須考慮避免死鎖的調(diào)度策略,FBMH1608HM600-T是否存在可行策略可以根據(jù)MIP是否有可行解判斷出來;模型無須預先給出調(diào)度方式,最優(yōu)調(diào)度可以不是Pull策略方式或swap策略構造的機械手搬運作業(yè)序列。MIP模型雖然在單集束型裝備中是一種非常有效的方法,但目前在多集束型裝備群中應用的文獻還比較少。多集束型裝備的難點不僅是雙臂機械手、并行腔室(加工模塊)、重入腔室等復雜需求,而且是不同的機械手之問的相互配合問題。如何用數(shù)學公式描述不同機械手之間的配合,以及增加新約束后,模型是否容易求解也是一個大問題。以下根據(jù)本章參考文獻[26]的成果,介紹在建立時延Pctri網(wǎng)模型的基礎上抽象出MIP模型的過程。