MOCVD尾氣中除了含有未反應完的氫化物、MO源和某些反應副產(chǎn)物等有毒氣體, P80C552EFA還有很多粉塵顆粒。在生產(chǎn)中必須將有粉塵和毒尾氣通過尾氣系統(tǒng)進行除塵及無害化處理,使其達到規(guī)定排放標準以下。

   一般尾氣處理系統(tǒng)主要包括真空泵前級處理和從真空泵出來后的排放處理。在真空泵前級的尾氣處理方面,通常在反應腔排氣口和控制反應腔壓力的蝶閥之間增設過濾器,這樣一來,所有從反應室排除的尾氣物質(zhì),必須先經(jīng)過濾器(包括顆粒冷凝)濾掉直徑小于2um的粉塵,使顆粒粉塵不堵塞蝶閥或真空泵,從而保證系統(tǒng)能夠長期正常工作。紅黃光LED外延生長后的尾氣,因其包含有含As和P的附產(chǎn)物,劇毒且易燃,其處理比GaN材料外延生長后的尾氣處理要更為嚴格。通常會特別安排磷阱吸附器和毒氣吸附器(TGA)進行吸附。而且,為防止熱的尾氣在管路中的凝結(jié),會對尾氣管路進行加熱。但是,從真空泵出來的氣體仍然含有毒氣,在排放到大氣之前需要將有毒物質(zhì)濃度降低到規(guī)定排放標準以下。常用的尾氣處理方法主要有利用化學反應吸收毒氣的濕式過濾器P叨;利用吸附劑吸附毒氣的活性炭過濾器田l];以及比較經(jīng)濟的燃燒法――通過熱分解、燃燒或MOCVD生長過程復雜、信息量大,需要實時運算、處理、執(zhí)行和分析的數(shù)據(jù)紛繁復雜。這需要有優(yōu)秀、合理的智能控制與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)架構(gòu)方案和可靠的硬件施行條件。通常,就硬件配置而言,MOCVD的智能控制系統(tǒng)主要由主機服務器和各個功能PLC模塊組成。主機一般負責材料生長過程監(jiān)控、控制系統(tǒng)的監(jiān)控界面運行、數(shù)據(jù)記錄、報警記錄、數(shù)據(jù)趨勢圖,以及操作人員的人工權(quán)限管理、指令控制與執(zhí)行功能等。各PLC模塊相應負責整個控制系統(tǒng)運行,包括各種信號采集、數(shù)據(jù)處理以及各種輸出信號控制。輸入信號包括各類儀表傳感器的流量、壓力、溫度、警報信號等;輸出信號涉及電磁閥、接觸器、電機、壓力控制器、流量控制器、加熱器等控制量�；�于此,MOcVD設備中整個智能系統(tǒng)硬件配置和任務劃分后,通過不同的人機對話界面至少完成下列功能: