集成電路1E向亞微米、深亞微米、多法布線結(jié)構(gòu)的方向發(fā)展。同20世紀(jì)70年代的約鬲微米技術(shù)相比. D27C256AD-15失效機(jī)理變得紛繁復(fù)雜,同時(shí)也帶來一些新的失效因素n新的失效素不僅對(duì)可靠性產(chǎn)生影響,分析、診斷及研究的難度也更具挑戰(zhàn)性。相應(yīng)的,集成電路的失效分析,也發(fā)展到不儀復(fù)雜,而且昂貴:(附錄圖l:常川失效分析實(shí)驗(yàn)室設(shè)備)c失效分析通常得涵蓋一系列系統(tǒng)性、邏輯分析和診斷過程,需要一系列失效分析設(shè)備,包括電性表征儀器、針對(duì)封裝器件(package―level)的非破壞性分析設(shè)備、半破壞性開封設(shè)備、失效定位設(shè)備及研究分析電路某些微Lx內(nèi)的形貌、緯構(gòu)、組分和狀態(tài)問題的微分析表面分析儀器、樣品制備裝置等”同時(shí),1h于器件的門類,爿l種繁多.結(jié)構(gòu)'丨生能差舁性很大.它們所經(jīng)歷的環(huán)境、應(yīng)力條件亦不同,失效件的來源.可靠性等級(jí)以反要求分析日的也不相同:此・集成電路失效分析技術(shù)勹方法是要求把「具、設(shè)備、儀器竿檢查測(cè)試分析手段與分析居、路及分析方案綜合在一起的技術(shù).具體對(duì)一個(gè)分斫案例吏用u那-砷分析技術(shù),還丨t根據(jù)實(shí)際情況來決定。

   失效分析是一閘邊緣科學(xué)・它跨越各種科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域并把各白獨(dú)立的技術(shù)綜合在一起,它也可以是一閘綜合性科學(xué)。所以進(jìn)行失效分析時(shí)要經(jīng)常與器件設(shè)計(jì)者、制造者、使用者∷方共同分析討論,從器件沒計(jì)技術(shù)、制造技術(shù)、器件物理、器件使用、沒備制造和設(shè)計(jì)以及可靠性管理等方面進(jìn)行綜合分析考慮.即要有計(jì)劃、有步驟地進(jìn)行。優(yōu)秀的失效分析員,必須具各可靠性及失效物理、物理、半尋體和封裝t藝、電路、版圖設(shè)計(jì)、測(cè)試、材料、化學(xué)以及冶金學(xué)等學(xué)科的基本知識(shí)・掌握失效分析的基本方法.不僅富有邏輯思考能力,而且要求有足夠的耐心和經(jīng)驗(yàn)積累。只有這樣才能準(zhǔn)確地找出失效的真i工根源c正囚如此,培養(yǎng)一個(gè)合格的、有經(jīng)驗(yàn)的失效分析員,需要五年時(shí)間・這同業(yè)界失效分析員的平均△作周期相仿。為了達(dá)到人才資源利用最大化.縮短培訓(xùn)周期,中芯國(guó)際分析實(shí)驗(yàn)室建立了FA Rel)ortSystem,充分利用中芯國(guó)際分析實(shí)驗(yàn)室所記錄的失效分析案例.使T程師能夠從中學(xué)習(xí)分析手法、F解失效機(jī)理、熟悉⒈藝制程、體會(huì)分析思路。在中芯國(guó)際分析實(shí)驗(yàn)室,FΛ Report

svs1em已經(jīng)成為分析實(shí)驗(yàn)室日常運(yùn)衍的一部分,它記錄r所有案例的來龍去脈,包括T藝、失效模式∷現(xiàn)象、機(jī)理、反饋及改善措施等。它具有在線申請(qǐng)、審批、分析中請(qǐng)單序列號(hào)白動(dòng)生成、白動(dòng)9mail通知case接受、完成及在線分析報(bào)告審核的功能。該系統(tǒng)除F⒈功能外,也沒計(jì)了基本的查找和統(tǒng)計(jì)能力,在基本的計(jì)算case數(shù)量、種類外,亦設(shè)計(jì)r統(tǒng)計(jì)分析所用機(jī)器種類、時(shí)間、所產(chǎn)生的相應(yīng)費(fèi)用的功能。囚為實(shí)現(xiàn)完全系統(tǒng)化,每個(gè)案件都有特定的訪問權(quán)限設(shè)置,客戶關(guān)心的知識(shí)產(chǎn)權(quán)保密(CIPP),從根本上得到保證。ISO所要求的Data traceability,亦有很好的保障。