X射線熒光測厚儀的工作原理如圖4-38所示,由X射線罩、安全閥門、準直器、X射線、計數(shù)器等部分組成。

   X射線熒光測厚儀的工作原理如圖4-39所示。其采用高能X射線轟擊樣品表面,被測M0516LAN樣品表面產(chǎn)生二次X射線(X光熒光),由于X光熒光譜線為各種元素所特有,通過對X光熒光譜線的收集和分析,以其波長確定所測元素,根據(jù)其光的強度和能量可以確定鍍層的厚度。    圖⒋39 X射線熒光測厚儀的工作原理

    K層電子被擊出時,原子系統(tǒng)能量由基態(tài)升到K激發(fā)態(tài),高能級電子向K層空位填充時產(chǎn)生K系輻射。L層電子填充空位時,產(chǎn)生踟輻射;M層電子填充空位產(chǎn)生Kβ輻射。原子受到X射線的激發(fā),會使原子內(nèi)層電子電離而出現(xiàn)空位,原子內(nèi)層電子重新配位,較外層的電子

躍遷到內(nèi)層電子空位,并同時放射出次級X射線光子,此即X射線熒光。較外層電子躍遷到內(nèi)層電子空位所釋放的能量等于兩電子能級的能量差,不同元素電子躍遷的能量是不同的,因此,X射線熒光的波長也對不同元素是不同的,根據(jù)元素X射線熒光特征波長對元素做定性分析,可知是何種元素;根據(jù)元素釋放出來的熒光強度,進行定量分析,可知元素厚度、含量等。