CyberOptics的子公司CyberOptics Semiconductor近日推出一種類似晶片的無線控制水平儀——WaferSense Auto Leveling Sensor (ALS)，該儀器可用于快速精確實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體晶圓加工和自動(dòng)化設(shè)備的水平校準(zhǔn)。

    WaferSense ALS水平儀有助于降低設(shè)備制造商的整體成本，并縮短校準(zhǔn)晶圓加工設(shè)備的時(shí)間，適用于150mm、200mm和300mm晶圓加工。該水平儀具有薄、輕等特點(diǎn)，可置于基板(Cassette)、FOUP、末端效應(yīng)器、前軸定位器、負(fù)載鎖定及處理倉等部位，從而確保各個(gè)部位都處于水平與共面狀態(tài)。

    該器件提供±0.03°精度，可測(cè)量共面并實(shí)現(xiàn)相關(guān)工具的精密調(diào)節(jié)。這種無線產(chǎn)品可用于常態(tài)或真空環(huán)境中，并提供一個(gè)HEPA過濾器，以去除任何進(jìn)入該傳感器中的顆粒物質(zhì)。

    與傳統(tǒng)有線或手動(dòng)方法相比，由于無需停機(jī)或打開真空反應(yīng)器，WaferSense ALS可顯著縮短工具的配置、試運(yùn)行、故障、維護(hù)等操作時(shí)間。

    WaferSense ALS可使用戶便捷地利用LevelView的實(shí)時(shí)level bubble圖形反饋來設(shè)置水準(zhǔn)或進(jìn)行水平測(cè)量，水準(zhǔn)可設(shè)置為該傳感器工作范圍內(nèi)的任意參考平面，用戶可定義Go/No Go區(qū)域和記錄數(shù)據(jù)，并標(biāo)注后面的參考平面。參數(shù)讀出裝置靠電池供電，傳感器的溫度和連接狀態(tài)可真實(shí)地出現(xiàn)在控制面板上。

    該WaferSense傳感器一次充電后可連續(xù)工作6小時(shí)以上，需要充電會(huì)自動(dòng)進(jìn)入充電狀態(tài)。WaferSense ALS可通過藍(lán)牙通信方式與膝上電腦的USB端口進(jìn)行無線連接，并可在Windows 98SE/2000/ME/XP等操作系統(tǒng)中工作。