隨著尺寸的縮小和縱橫比的上升,缺陷類型將限制新一代半導(dǎo)體的成品率。由于新工藝和新材料,缺陷的復(fù)雜度也提高了。界面的原子粗糙度將在確定缺陷類型和分布中起關(guān)鍵作用。

因此,一種缺陷檢測工具不能滿足所有用途。光學(xué)顯微術(shù)將達(dá)到極限,對于任何250nm以下的測量,最好的光學(xué)顯微鏡也只能產(chǎn)生模糊的點。缺陷可廣泛歸類為隨機(jī)或系統(tǒng)缺陷。

對于250nm特征尺寸的電路,80nm的粒子在引起掩模針孔或刻蝕鼠咬等情況下是可以承受的。

但對于特征尺寸10Onm的生產(chǎn)來說,需要降低到40nm。對潔凈室、化學(xué)供應(yīng)、設(shè)備負(fù)載和現(xiàn)場工藝等要格外注意。

銅(Cu)按下列順序在生產(chǎn)中使用:

用鎢埋層來接觸源、漏和柵區(qū),對于某些短連線可用鎢形成圖形,而其他金屬化都可使用Cu;

Cu可用雙鑲嵌方法來形成圖形;

擴(kuò)散阻擋層將建立在%或TaN基礎(chǔ)上;

用PVD或CVD沉積一個Cu仔晶層;

通過電鍍用Cu填充通孔和溝道;

Cu的CMP。

三相定子繞組接線，線盒，定子繞組Y連接，定子繞組連接。

三相異步電動機(jī)定子繞組出線端標(biāo)志，三相定子繞組按電源電壓的不同和電動機(jī)銘牌上的接線要求,可接成星形(Y)或三角形(△)兩種形式。三相異步電動機(jī)接線盒內(nèi)的接線方法如下:

星形(Y)連接將三相繞組的U2、Ⅴ2、W2端接在一起,U1、V1、Wl端分別接三相電源。

三角形(△)連接將第一相繞組首端U1接第三相繞組的尾端W2,第二相繞組首端Ⅴ1接第一相繞組的尾端U2,第三相繞組的首端W1接第工相繞組尾端Ⅴ2,然后將三相繞組的首端U1、Ⅴ1、W1分別接三相電源。

深圳市慈安科技有限公司http://cakj.51dzw.com