確定對工藝參數(shù)的控制要SGM2001-1.8XN5求以后，下一步工作就是針對具體的工藝設備，采用正交試驗和實驗設計方法優(yōu)化確定應采用的工藝條件。“優(yōu)化”的核心是要保證所確定的工藝條件標稱值，可以使工藝參數(shù)對工藝波動不敏感，即在較大的工藝條件波動范圍內(nèi)，工藝參數(shù)仍能滿足要求。

    進行工藝優(yōu)化設計時需要進行以下方面的工作：
    ①基礎研究。明確產(chǎn)品的開發(fā)方針和可行性，收集類似產(chǎn)品的失效信息，分析失效模式與機理。
    ②基本工藝與產(chǎn)品開發(fā)。實施基本產(chǎn)品和電路的評價，為控制失效模式與機理，決定基本材料、結(jié)構(gòu)、工藝和設計原則，開發(fā)新的評價技術。
    ③總工藝開發(fā)。進行近似于產(chǎn)品水平的電路、結(jié)構(gòu)的開發(fā)試制及其評價，確立可編制產(chǎn)品標準的技術步驟，降低初期不良率，決定產(chǎn)品功能特性監(jiān)控和老化條件。
    ④大量生產(chǎn)化的開發(fā)和大量生產(chǎn)。大量生產(chǎn)工藝的設計和工藝固化，進行有關工藝試驗。