為保證聲表面波器仲的可靠性，對(duì)聲表面MICRF102YM波器件生產(chǎn)環(huán)境條件應(yīng)提出明確的控制要求，包括凈化廠房的潔凈度、溫濕度、防靜電設(shè)施，同時(shí)制訂相應(yīng)的控制文件，并在實(shí)際中按要求嚴(yán)格控制。
    潔凈度、溫濕度的控制
    器件生產(chǎn)所需凈化廠房的潔凈度、溫濕度控制要求，各工序有所區(qū)別，光刻、鍍膜等工序要求更高；同時(shí)與器件IDT指條寬度有關(guān)，器件IDT指條寬度越窄，工序要求相應(yīng)更高。聲表面波器件生產(chǎn)凈化廠房各工序的潔凈度、溫濕度控制要求見表9.7。