(1)去脂溶劑蒸汽清洗工藝。
    這是較早采用的一種清洗工藝，具體C3225X5R1C106M方法是先將有機溶劑加熱至沸點，產(chǎn)生高溫有機溶劑蒸汽，然后將SMA敖入清洗機有機溶劑高溫蒸汽區(qū)內(nèi)，其蒸汽遇到溫度較低的工件表面形成露珠，釋放出汽相潛熱，形成的液態(tài)露珠溶劑與表面污染物發(fā)生物理或化學(xué)，溶解掉殘留污染物，含有污染物的液滴離開SMA表面并帶走污染物，最后用通過蒸汽冷凝回收回來的潔凈溶劑對工件進行噴淋，用機械力沖刷掉污染物。噴淋后工件仍在蒸汽區(qū)內(nèi)，當(dāng)表面溫度達到蒸汽溫度時，表面不再出現(xiàn)熱交換，工件已潔凈并干燥。此時取出工件，達到清洗的目的。此清洗工藝適合在污染不嚴(yán)重而潔凈度要求較高的情況下使用，批量式溶劑
蒸汽清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)如圖3-13所示。工藝過程：加熱有機溶劑一放入SMA一汽相洗一噴淋一干燥一取出SMA。

    (2)沸點超聲清洗工藝。
    此工藝是在去脂溶劑蒸汽清洗工藝的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，不同的是多了一套超聲波發(fā)生裝置。其工藝過程是將被清洗的SMA浸入裝有去脂溶劑的超聲槽中，將溶劑加熱至沸點后，啟動超聲波發(fā)生器，發(fā)出的超聲波能量經(jīng)換能器轉(zhuǎn)化為機械振動，清洗劑在機械振動作用下產(chǎn)生很強的沖擊力，使分子間的物理鍵斷裂，以清除SMA上的污染物。SMA經(jīng)超聲波高頻振蕩作用后，再用溶劑噴淋沖刷污染物，最后干燥并取出SMA，達到清洗目的。此工藝清潔效果好，適用于清洗污嚴(yán)重的SMA。但超聲波的高頻振蕩波會透過封裝材料進入器件的內(nèi)部而對晶體管或IC內(nèi)部芯片焊點造成破壞，對于航天航空、軍事領(lǐng)域及生命保障類重要電子產(chǎn)品不宜使用這種清洗工藝。工藝過程：加熱有機溶劑一SMA浸入溶劑一超聲波清洗一噴淋一干燥一取出SMA。
    (3)連續(xù)式溶劑清洗工藝。
    連續(xù)式溶劑清洗工藝原理與去脂溶劑蒸汽清洗工藝相同。不同的是，整個過程是在清洗設(shè)備中連續(xù)完成的，此工藝蒸汽損失較小，適合大批量生產(chǎn)，連續(xù)式溶劑清洗機的結(jié)構(gòu)如圖3-14所示。工藝過程：加熱有機溶劑一放入SMA一汽相洗（或啟動超聲清洗）一多次噴淋一干燥一取出SMA。