靜電放電對(duì)電子工業(yè)的危害
發(fā)布時(shí)間:2012/10/15 20:14:36 訪問(wèn)次數(shù):913
在電子工業(yè)中,摩擦起電和人體帶電OV7720常有發(fā)生,電子產(chǎn)品在生產(chǎn)、包裝運(yùn)輸及裝聯(lián)成整機(jī)的加工、調(diào)試、檢測(cè),難免受到外界或自身的接觸摩擦而形成很高的表面電位。如果操作者不采取靜電防護(hù)措施,入體靜電電位可高達(dá)1.5~3kV。因此無(wú)論是摩擦起電還是人體靜電均會(huì)對(duì)靜電敏感電子器件造成損壞。根據(jù)靜電的力學(xué)和放電效應(yīng),其靜電損壞大體上分為兩類(lèi),這就是由靜電引起的浮塵埃的吸附以及由靜電放電引起的敏感元器件的擊穿。
靜電吸附
在半導(dǎo)體和半導(dǎo)體器件制造過(guò)程廣泛采用Si02及高分子物質(zhì)的材料,由于它們的高絕緣性,在生產(chǎn)過(guò)程中易積聚很高的靜電,并易吸附空氣中的帶電微粒導(dǎo)致半導(dǎo)體介面擊穿、失效。表17.1是日本岡田孝夫等人對(duì)半導(dǎo)體制造工序中物體所帶靜電的實(shí)測(cè)結(jié)果。表17.1半導(dǎo)體制造工序中的靜電帶電
從表17.1可見(jiàn),生產(chǎn)中各物體所帶靜電位是非常高的。由于靜電的力學(xué)效應(yīng)會(huì)使車(chē)間的浮游塵埃被吸附于半導(dǎo)體芯片上,灰塵也可能附著、積存于芯片以外的物體上,即使極少量的、線(xiàn)度很小的灰塵粒子附著在芯片上也會(huì)嚴(yán)重影響半導(dǎo)體成品的質(zhì)量和成品率。
為了防止靜電危害,半導(dǎo)體和半導(dǎo)體器件的制造必須在潔凈室內(nèi)進(jìn)行。如安裝除塵效率極高的過(guò)濾器,同時(shí)潔凈室的墻壁、天花板、地板等均應(yīng)采用防靜電的不起塵材料和操作人員及一切工具、器具均應(yīng)采取防靜電措施。
靜電對(duì)印制板組件和元器件的靜電吸附表現(xiàn)為吸附灰塵、雜物和潮氣,改變線(xiàn)路之間的阻抗,影響絕緣性、安全性、直接影響組件的功能和壽命。
在電子工業(yè)中,摩擦起電和人體帶電OV7720常有發(fā)生,電子產(chǎn)品在生產(chǎn)、包裝運(yùn)輸及裝聯(lián)成整機(jī)的加工、調(diào)試、檢測(cè),難免受到外界或自身的接觸摩擦而形成很高的表面電位。如果操作者不采取靜電防護(hù)措施,入體靜電電位可高達(dá)1.5~3kV。因此無(wú)論是摩擦起電還是人體靜電均會(huì)對(duì)靜電敏感電子器件造成損壞。根據(jù)靜電的力學(xué)和放電效應(yīng),其靜電損壞大體上分為兩類(lèi),這就是由靜電引起的浮塵埃的吸附以及由靜電放電引起的敏感元器件的擊穿。
靜電吸附
在半導(dǎo)體和半導(dǎo)體器件制造過(guò)程廣泛采用Si02及高分子物質(zhì)的材料,由于它們的高絕緣性,在生產(chǎn)過(guò)程中易積聚很高的靜電,并易吸附空氣中的帶電微粒導(dǎo)致半導(dǎo)體介面擊穿、失效。表17.1是日本岡田孝夫等人對(duì)半導(dǎo)體制造工序中物體所帶靜電的實(shí)測(cè)結(jié)果。表17.1半導(dǎo)體制造工序中的靜電帶電
從表17.1可見(jiàn),生產(chǎn)中各物體所帶靜電位是非常高的。由于靜電的力學(xué)效應(yīng)會(huì)使車(chē)間的浮游塵埃被吸附于半導(dǎo)體芯片上,灰塵也可能附著、積存于芯片以外的物體上,即使極少量的、線(xiàn)度很小的灰塵粒子附著在芯片上也會(huì)嚴(yán)重影響半導(dǎo)體成品的質(zhì)量和成品率。
為了防止靜電危害,半導(dǎo)體和半導(dǎo)體器件的制造必須在潔凈室內(nèi)進(jìn)行。如安裝除塵效率極高的過(guò)濾器,同時(shí)潔凈室的墻壁、天花板、地板等均應(yīng)采用防靜電的不起塵材料和操作人員及一切工具、器具均應(yīng)采取防靜電措施。
靜電對(duì)印制板組件和元器件的靜電吸附表現(xiàn)為吸附灰塵、雜物和潮氣,改變線(xiàn)路之間的阻抗,影響絕緣性、安全性、直接影響組件的功能和壽命。
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