磁柵尺由磁柵尺、磁頭檢測(cè)N330SH26電路組成，利用電磁特性和錄磁原理對(duì)位移進(jìn)行測(cè)量。磁柵尺是在非導(dǎo)磁性標(biāo)尺基礎(chǔ)上采用化學(xué)涂敷或電鍍工藝在非磁性標(biāo)尺上沉積一層磁性膜（一般10～20ym），在磁性膜上錄制代表一定長(zhǎng)度、具有一定波長(zhǎng)的方波或正弦波磁軌跡信號(hào)。磁頭在磁柵尺上移動(dòng)讀取磁信號(hào)，并轉(zhuǎn)變成電信號(hào)輸入控制電路，最終控制AC伺服電機(jī)的運(yùn)行，通常磁柵尺直接安裝在X,Y，導(dǎo)軌上，它的工作原理與安裝示意如圖11.16和圖11.17所示。
    磁柵尺的優(yōu)點(diǎn)是制造簡(jiǎn)單，安裝方便，穩(wěn)定性高，量程范圍大。其測(cè)量精度高達(dá)1～5pLm，一般高精度自動(dòng)貼片機(jī)采用此裝置；貼片重復(fù)精度一般為0.02mm。

              
    光柵尺
    該系統(tǒng)同磁柵尺系統(tǒng)相類似，也是由光柵尺、光柵讀數(shù)頭與檢測(cè)電路組成的。光柵尺在透明玻璃或金屬鏡面上真空沉積鍍膜，利用光刻技術(shù)制作均勻密集的條紋（每毫米100～300條條紋），條紋距離相等且平行，光柵讀數(shù)頭由指示光柵、光源、透鏡及光敏器件組成。指示光柵有相同密度的條紋。光柵尺根據(jù)物理學(xué)的莫爾條紋形成原理進(jìn)行位移測(cè)量，測(cè)量精度高，一般為0.1～1Um。光柵尺在高精度貼片機(jī)中應(yīng)用，其定位精度比磁柵尺還要高1～2個(gè)數(shù)量級(jí)。
    西門子貼片機(jī)最早采用光柵尺-AC伺服電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)，但裝有光柵尺的貼片機(jī)對(duì)環(huán)境要求比較高，特別是需要防塵，塵埃落在光尺上將會(huì)引起貼片機(jī)出故障。
    總之，上述三種測(cè)量方法均能獲得很高的運(yùn)動(dòng)定位精度，但僅能對(duì)單軸向運(yùn)動(dòng)位置的偏差進(jìn)行檢測(cè)，而對(duì)導(dǎo)軌的變形、彎曲等因素造成的正交或旋轉(zhuǎn)誤差卻無能為力。例如，圖11.11中最新的貼片機(jī)在X, y導(dǎo)軌土裝有冷卻系統(tǒng)，可以有效地防止導(dǎo)軌的熱變形。