紅外吸收層處于中央的懸浮薄膜處， CNB20010RL此處也構(gòu)成熱電堆的熱結(jié)，冷結(jié)位于基體之上。與懸臂梁結(jié)構(gòu)形成的方法類似，通過硅的各向異性腐蝕等技術(shù)，形成懸浮結(jié)構(gòu)。熱偶對位于懸浮薄膜與連接懸臂梁上，中央的熱結(jié)與冷結(jié)通過幾個(gè)懸臂梁相連，周圍也是被氣體介質(zhì)（或真空）包圍。浮動(dòng)薄膜式熱堆結(jié)構(gòu)的薄膜大部分是由硅框架腐蝕而成，僅由幾根懸臂梁支撐。這種結(jié)構(gòu)的熱端面積非常大，幾根懸臂梁非常窄、長，因此熱阻非常大。結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是熱阻最大，時(shí)間常數(shù)最長，器件靈敏度最大，機(jī)械強(qiáng)度最小，極易損壞。

   在上述三個(gè)結(jié)構(gòu)中，從性能上比較，封閉膜結(jié)構(gòu)的熱阻最小，響應(yīng)時(shí)間最短；懸浮結(jié)構(gòu)的熱阻最高，響應(yīng)時(shí)間最長；懸臂梁結(jié)構(gòu)的熱阻，響應(yīng)時(shí)間處于前兩者之間。從制作工藝的難度比較，封閉膜的最容易，而懸臂梁的最難。在實(shí)際研究與應(yīng)用中，懸浮結(jié)構(gòu)除早期在某些領(lǐng)域有所探索外，后來逐漸退出，而對封閉膜結(jié)構(gòu)與懸臂梁結(jié)構(gòu)的研究應(yīng)用一直沒有間斷，為現(xiàn)在MEMS熱電堆紅外傳感器的主流結(jié)構(gòu)。