基本十步的圖形化工藝
發(fā)布時(shí)間:2015/10/25 17:30:57 訪問次數(shù):980
有許多獨(dú)立的圖形化工藝過程，它規(guī)定器件結(jié)構(gòu)的輪廓，在器件中疊層的組合，SSL2102T并繼續(xù)減少器件的尺寸。然而，有一個(gè)基本的f步模式過程如圖4. 13所示．細(xì)節(jié)和變化將在第8章至第10章中討論。
早期“reticle”為制1：1光刻版的母版，也稱大像版，，后來是指步進(jìn)光刻機(jī)（stepper）的用版，澤者在本f5中有時(shí)稱為“放
大掩模版”——譯者注．
有許多獨(dú)立的圖形化工藝過程，它規(guī)定器件結(jié)構(gòu)的輪廓，在器件中疊層的組合，SSL2102T并繼續(xù)減少器件的尺寸。然而，有一個(gè)基本的f步模式過程如圖4. 13所示．細(xì)節(jié)和變化將在第8章至第10章中討論。
早期“reticle”為制1：1光刻版的母版，也稱大像版，，后來是指步進(jìn)光刻機(jī)（stepper）的用版，澤者在本f5中有時(shí)稱為“放
大掩模版”——譯者注．
上一篇：光刻母版和掩模版
相關(guān)技術(shù)資料- 10-25基本十步的圖形化工藝
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- SSL2102T
- 暫無最新型號
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