凈化間工作人員是最大的污染源之一。即使一個(gè)經(jīng)過(guò)風(fēng)淋的凈化間操作員，HEF4541BT當(dāng)他坐著時(shí)，每分鐘也可釋放10萬(wàn)到100萬(wàn)個(gè)顆粒H。當(dāng)人員移動(dòng)時(shí)，這個(gè)數(shù)字還會(huì)大幅增加。當(dāng)—個(gè)人以每小時(shí)兩英里的速度走動(dòng)時(shí)，他每分鐘會(huì)釋放高達(dá)500萬(wàn)個(gè)顆粒，這些顆粒都是來(lái)自脫落的頭發(fā)和壞死的皮膚。其他的顆粒源還有噴發(fā)膠、化妝品、染發(fā)劑和暴露的衣服。圖5. 19列出_『從不同的操作人員的動(dòng)作中產(chǎn)生的污染物的水平。

   圖5. 19引發(fā)微粒增加的活動(dòng)（源自：《混合電路技術(shù)手冊(cè)》，Noyes出版）普通的衣服，即使在潔凈服內(nèi)，也會(huì)給凈化間增加．匕自‘萬(wàn)個(gè)微粒。在潔凈度非常高的凈化間內(nèi)，操作員只能穿用無(wú)脫落材料緊密編織的衣服。而禁止穿用毛線和棉線編織的裝，

而且潔凈服要制成高領(lǐng)長(zhǎng)袖門。

   人類的呼吸也包含著大量的污染，每次呼氣向空氣中排出大量的水汽和微粒。，而一個(gè)吸煙者的呼吸在吸煙后的很長(zhǎng)時(shí)間里仍能帶有七百萬(wàn)的微粒、、而體液，例如含鈉的唾液也是半導(dǎo)體器件的主要?dú)⑹帧＝】档娜耸窃S多污染的污染源，而病人就更加重J-。特別是皮疹tj呼吸傳染病患者還會(huì)產(chǎn)生額外的污染源；一些制造廠對(duì)患特定病癥的工作人員進(jìn)行另行安排：

   從總體來(lái)看，唯一使工作人員適于凈化間工作的可行的辦法是把人員完全包裹起來(lái)。，而且凈化間工作人員的潔凈服材料因潔凈度的要求不同而不同。對(duì)一個(gè)典型的潔凈區(qū)服飾材料應(yīng)不易產(chǎn)生脫落，并且含有導(dǎo)電的纖維以釋放靜電。還要要求權(quán)衡材料的過(guò)濾能力與操作員穿戴的舒適度。與手套一樣，重新清洗還是一次性廢棄，在潔凈服的使用中也是難以抉擇的，大多數(shù)甚大規(guī)模集成電路( ULSI)加工廠使用可再利用的潔凈服，即使有一定的清洗費(fèi)用，也可降低整體費(fèi)用1 16“。