·旋轉(zhuǎn)淋洗甩于機(jī)( SRD)

   ·異丙醇( IPA)蒸氣蒸干法

   ·表面張力/Marangoni烘干法

   旋轉(zhuǎn)淋洗甩干機(jī)(SRD)：RT9173CPSP在旋轉(zhuǎn)淋洗甩干機(jī)中，完全的甩于是在一個(gè)類似離心分離機(jī)的設(shè)備中完成的。一種方式是將晶圓承載器裝入一個(gè)圓筒狀容器內(nèi)部的片匣固定器中。，在這一圓筒狀容器的中心是一排連接著去離子水和熱氮?dú)獾膸ф軱的管子。

   甩于的過(guò)程實(shí)際起始于晶圓的沖洗，因?yàn)榫A是圍繞著噴水的中心管柱旋轉(zhuǎn)的i．然后，當(dāng)熱氮?dú)鈴闹行墓苤袊姵鰰r(shí)，SRD轉(zhuǎn)換為高速旋轉(zhuǎn)。不難想象，旋轉(zhuǎn)把水從晶圓表面甩掉。熱氮?dú)饪梢詭椭コo附于晶圓上的小水珠。

   SRD還可以設(shè)計(jì)用來(lái)做單個(gè)晶圓承載器的甩干。承載器可以被滑動(dòng)推入反應(yīng)室內(nèi)部的一個(gè)旋轉(zhuǎn)固定器中，水和氮?dú)鈴钠鋫?cè)壁進(jìn)入反應(yīng)室而不是通過(guò)一個(gè)位中心的管柱，沖洗和甩干是在承載器繞其自身的軸線旋轉(zhuǎn)時(shí)進(jìn)行的。這種類型的SRD稱為軸線甩于機(jī)

( axial clrer)。這兩種烘干機(jī)均被應(yīng)用于全自動(dòng)的晶圓清洗和刻蝕工藝。作為晶圓清洗機(jī)，其所需的化學(xué)品通過(guò)管道連接到機(jī)器上，又由用微處理器控制的閥門(mén)將正確的化學(xué)品輸送到反應(yīng)室中。