異丙醇( IPA)蒸氣蒸干法：一種近RT9179AGS未又被重新發(fā)現(xiàn)的烘干技術是醇類蒸f法，在烘于器的底部有一個液體IPA的儲液罐。其上部充滿蒸氣（氣相）。當一片表面帶水的晶圓懸置j二蒸氣中時，IPA將晶圓表面的水取代。IPA蒸氣區(qū)域周圍的冷卻管使IPA蒸氣中的水蒸氣凝結，從而除去晶圓表面的水。另一種為直接取代型氣相蒸于機( direct displacement vapor dryer)。在這一系統(tǒng)中，晶圓被直接從水池中拿出放人IPA蒸氣中，IPA對水的取代在其中發(fā)生（見圖5.34）。

   表面張力／馬拉高尼( Marangoni)烘干：當晶圓從水中被慢慢

拿出水面時，水的表面張力產(chǎn)生一種特殊條件，張力吸走表面的

水，使晶圓變干。一種有機物，如IPA或N：的氣流在晶圓和水的

界面出現(xiàn)，將使上述效果增強。IPA/N，的氣流產(chǎn)生一種表面張力

梯度從而使得晶圓上的水從其表面流入水中。這一內部流動進一

步加強了晶圓去水的效果。在實際應用中，晶圓會從水池中拿出，或者沖洗池中的水會慢慢下降使晶圓露出水面.