光刻膠的選擇是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程。主要的決定因素是晶圓表面對(duì)尺寸的要求。AD9214BRS-105光刻膠首先必須具有產(chǎn)生那些所要求尺寸的能力。除了這些，還必須有在刻蝕過(guò)程中阻擋刻蝕的功能。在阻擋刻蝕的作用中，保持特定厚度的光刻膠層中一定不能存在針孔。另外，光刻膠必須能和晶圓表面很好地黏結(jié)，否則刻蝕后的圖形就會(huì)發(fā)生扭曲，就像是如果在印刷過(guò)程中蠟紙沒(méi)有和表面貼緊的話(huà)，就會(huì)得到一個(gè)濺污的圖形。以上那些，連同工藝緯度和階梯覆蓋能力，都是光刻膠性能的要素。在光刻膠的選擇過(guò)程中，工藝師通常會(huì)在不同的性能因素中做出權(quán)衡。光刻膠是復(fù)雜化學(xué)工藝和設(shè)備系統(tǒng)的一部分，它們必須一起工作來(lái)產(chǎn)生好的圖形結(jié) 果和可生產(chǎn)性，其設(shè)備必須使廠(chǎng)商擁有可接受的購(gòu)買(mǎi)成本。