光刻膠的性能因素已經(jīng)被詳細(xì)地說明了，AD9927BBCZRL基本光刻十步法工藝每一步都和光刻膠的物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)有一定聯(lián)系。而這些性質(zhì)都受光刻膠生產(chǎn)商的嚴(yán)格控制。

   固體含量

   光刻膠是一種液體，它通過旋轉(zhuǎn)的方式涂到晶圓表面。光刻膠留在晶圓表面的厚度是由涂膠工藝的參數(shù)和光刻膠的屬性——固體含量( solid content)和黏度(viscosity)來決定的。

   光刻膠是由聚合物、光敏劑和添加劑混合在溶劑中構(gòu)成的。不同的光刻膠會(huì)包含有不同數(shù)量的固體物。這個(gè)數(shù)量指的是光刻膠的固體含量，它是由光刻膠中質(zhì)量百分比來表示的。固體含量的范圍通常在20%—40%之間3j。

   黏度是液體流動(dòng)數(shù)量上的測量。高黏度液體流動(dòng)較慢，如拖拉機(jī)油。低黏度液體比較容易流動(dòng)，如水。對于這兩種情況，流動(dòng)的機(jī)理是一樣的。當(dāng)液體被灌注時(shí)，液體中的分子之間相互滾動(dòng)。當(dāng)分子滾動(dòng)時(shí)，它們之間存在一種引力。這種引起到了一種類似于內(nèi)部摩擦力的作用。黏度就是這種摩擦力的度量。

   黏度可以通過幾種不同的技術(shù)方法來測量。大多光刻膠生產(chǎn)商是通過在光刻膠中轉(zhuǎn)動(dòng)葉片來測量黏度的。黏度越高．在恒定速度下轉(zhuǎn)動(dòng)葉片所需要的力就越大。旋轉(zhuǎn)葉片的測量方法說明了黏度的力相關(guān)性。

   黏度的單位是厘泊( centipoise)①（1 poise的百分之一）。它以法國科學(xué)家Poisseulle的名字命名，他研究了流體的黏滯流動(dòng)。1 poise等于每厘米l達(dá)因(dyne)秒。黏度單位厘泊更準(zhǔn)確地說明了絕對黏度( absolute viscosity)。

   另外一種單位稱為運(yùn)動(dòng)黏度( kinematic viscosity)，它是厘斯(centistoke)②，是由絕對黏度（厘泊）除以光刻膠密度而得到的。黏度會(huì)隨著溫度的變化而變化；因此，它的指定值是在特

定溫度條件下聲明的，通常是25℃。黏度是在涂膠工藝中決定光刻膠厚度的主要參數(shù)。黏度和光刻膠固體含量密切相關(guān)。固體含量越高，光刻膠黏度就越高。