在掩模版不透明的線條被大面積亮區(qū)包圍的地方，難以實(shí)現(xiàn)好的分辨率。 NCP304LSQ43T1來(lái)自不透明的線條周?chē)罅康妮椛溱呌谑构饪棠z層的線條尺寸收縮（見(jiàn)圖10. 13），這是因?yàn)閳D形周?chē)吘?/span>曝光射線的衍射現(xiàn)象。這種問(wèn)題被稱(chēng)為鄰近效應(yīng)( proximity effect)。

   另一個(gè)反差效應(yīng)被稱(chēng)為主體反差( subject  contrast)（見(jiàn)圖10. 14）。這種情況發(fā)生在當(dāng)一些曝光輻射穿透掩模版上的不透明區(qū)，或晶圓表面反射到光刻膠中時(shí)。結(jié)果是在顯影步驟后，部分曝光區(qū)域留下畸變的圖形。這種在采用負(fù)膠時(shí)比采用正膠有更多的問(wèn)題。圖形改變還來(lái)自于衍射效應(yīng)（見(jiàn)圖10. 15）和光的散射（見(jiàn)圖10. 16）。