離開(kāi)加速管后，束流由于相同電荷的排斥作用而發(fā)散。分離（發(fā)散）導(dǎo)致離子密度不均勻和晶圓摻雜層的不均一。為使離子注入成功，AD7002AS束流必須聚焦。靜電或磁透鏡用于將離子聚焦為小尺寸束流或平行束流帶|i131。平行離子束是極其重要的，尤其是對(duì)晶體管的柵的應(yīng)用，因為離子束的偏差可能引起不均勻的摻雜劑的劑量，進(jìn)而影響晶體管的性能。

 盡管真空去除了系統(tǒng)中的大部分空氣，但是束流附近還是有一些殘存的氣體分子。離子和剩余氣體原子的碰撞導(dǎo)致?lián)诫s離子的中和：

   在晶圓內(nèi)，這些電中性的粒子導(dǎo)致?lián)诫s不均勻，同時(shí)由于它們無(wú)法被設(shè)備探測(cè)計(jì)數(shù)，還會(huì)導(dǎo)致晶圓摻雜量的計(jì)數(shù)不準(zhǔn)確。抑制中性粒子流的方法是通過(guò)靜電場(chǎng)板的方法將束流彎曲，中性的束流會(huì)繼續(xù)沿直線運(yùn)動(dòng)而遠(yuǎn)離晶圓（見(jiàn)圖11. 25）。