離子束流比晶圓有更小的直徑（約為1cm）。若要以均勻摻雜覆蓋整個晶圓，AD7003AR就要用束流對晶圓掃描。可使用3種方法：束流掃描、機械掃描和快門，可采用任意一種或多種組合。

   束流掃描的系統(tǒng)使束流通過多個靜電場電極板（見圖11. 26）。電極板的正負電性可受控改變以吸引或排斥粒子束流。通過兩個方向上的電性控制，束流會以光柵掃描方式掃過整片晶圓。

   束流掃描方式主要用于中等束流離子注入機注入單片晶圓。其過程迅速而均勻，缺點是束流需全部離開晶圓以實現(xiàn)轉(zhuǎn)向。對于大尺寸晶圓來說，其過程會使注入時間延長30%或更多。高束流機囂上的另一個問題是高密度離子導致的放電（所謂空間電荷力）會毀壞靜電板。寬束流掃過晶圓。在有些系統(tǒng)中，每掃一次，晶圓就旋轉(zhuǎn)90。以確保其均勻性14。

   機械掃描解決掃描問題的方式為使束流固定在一個位置，在其前面移動晶圓。機械掃描主要用在高束流的機器上。優(yōu)點之一是無須浪費時間扭轉(zhuǎn)束流，同時束流速度恒定。如果晶圓與束流間有一個角度，有可能導致注入深度不均勻。但在有些情況下，晶圓被定向為與束流有一個角度。束流快門使用電場或機械快門使束流在晶圓上接通，離開晶圓時斷開。多數(shù)系統(tǒng)使用束流掃描和機械運動的組合。