比如鋁膜，已不能通過IRF3205PBF光學技術(shù)測景。并且對于鋁膜和其他薄的導體膜，四探針測試儀測厚方法已不夠精確了。在這砦情況下，一種機械移動探針的儀器被廣泛應用（見圖14. 10），、這一方法需要去除一部分薄膜，并在測試晶圓表面產(chǎn)生一個臺階。．它一般通過光刻和刻蝕來完成，其樣品被放在繞軸旋轉(zhuǎn)的探針工作臺上并進行調(diào)平。

   圖14. 10臺階高度測量

   調(diào)平之后，測量探針緩慢下降至晶圓表面并接觸，然后工作臺在探針下面慢慢移動。隨著探針跨過臺階，其物理位置已發(fā)生變化。同時與探針相連的感應器能夠產(chǎn)生一個電信號并以此來反映探針的垂直位置。這個信號將被放大并傳輸?shù)絰-y坐標記錄儀中。

   當調(diào)平的晶圓在探針下移動時，如果它并不是在垂直方向移動，也就沒有信號產(chǎn)生，在x-y坐標圖上其軌跡便是一條直線。當探針接觸到表面臺階時，其（垂直）位置發(fā)生變化并引起輸出信號的變化，這一變化將通過x-y圖中的曲線軌跡很明顯地表示出來。，這一位置變化與臺階的高度緊密相關(guān)，它能夠直接從標準的戈-y圖中讀出。精度與針尖的材料和直徑相關(guān)。用在20—50 nm范圍內(nèi)金剛石針尖，可以測量納米范圍的表面臺階（見圖14. 11）。