橢偏儀是一個(gè)應(yīng)用激光光源，工作原理與分光光度計(jì)截然不同的膜厚度測(cè)量?jī)x器。IRF3205激光光源是極化光源。極化是指所有光束都在同一平面七傳播的一種波。極化可以通過(guò)觀察手電筒的光束想象出來(lái)。對(duì)于一個(gè)普通的光束，光線通過(guò)很多平面進(jìn)入我們的眼睛，就像帶有很多羽毛的箭一樣。而極化的光束的所有光線都在同一平面上，或者說(shuō)就像只有一根羽毛的箭一樣（見(jiàn)圖14.9）。

   在橢偏儀中，極化了的光束直接以一定的角度入射到有氧化層的晶圓表面。光束進(jìn)入到透明膜內(nèi)，并且被反射性的晶圓表面反射回來(lái)，在光線通過(guò)薄膜的通路中，光束平面的角度已經(jīng)發(fā)生_r旋轉(zhuǎn)。而光束所在平面旋轉(zhuǎn)的角度大小取決于膜厚度和晶圓表面的折射系數(shù)。儀器上的一個(gè)檢測(cè)器會(huì)測(cè)量偏轉(zhuǎn)角度，并且在線計(jì)算機(jī)會(huì)計(jì)算出膜厚度與折射系數(shù)。

   橢偏儀被用來(lái)對(duì)薄膜層( 50~1200 A)的膜厚度與折射系數(shù)進(jìn)行測(cè)量，其準(zhǔn)確性無(wú)與倫比，并且它可用于多層膜的測(cè)量，，加入多視角、多光波源、小光斑的選項(xiàng)使得它的能力得到更多擴(kuò)展。

   小于so A的薄膜可用光環(huán)一氧化物一半導(dǎo)體(COS)的技術(shù)

進(jìn)行測(cè)量。