摻雜型電阻器
發(fā)布時(shí)間:2015/11/13 21:13:43 訪問(wèn)次數(shù):772
摻雜型電阻器:集成電NCP4894DMR2G路中的大多數(shù)電阻器都是由氧化、掩膜和摻雜工藝順序生成的(見圖16.2)。在氧化層表面生成一個(gè)圖形。典型的電阻器是啞鈴形的(見圖16.3)。兩端的矩形作為接觸區(qū),中間細(xì)長(zhǎng)的部分起到電阻器的作用。用這個(gè)區(qū)域的方塊電阻和其所包含的方塊的數(shù)量就可以計(jì)算出這個(gè)區(qū)域的阻值。方塊的數(shù)量等于電阻區(qū)域的長(zhǎng)度除以寬度。
在摻雜和隨后的再氧化工藝結(jié)束后,兩端的矩形區(qū)域刻蝕出接觸孔以便將電阻器連接到電路中。一個(gè)電阻器有兩個(gè)接觸點(diǎn),是沒有結(jié)的器件。術(shù)語(yǔ)no-junction的含義是電流在兩個(gè)接觸區(qū)之間流動(dòng),而沒有穿越NP結(jié)或PN結(jié)。然而結(jié)可以起到限制流經(jīng)電阻區(qū)域電流的作用。
由離子注入進(jìn)行摻雜而生成的電阻器比那些在擴(kuò)散區(qū)域生成的電阻囂的阻值更容易控制。摻雜型電阻器可以在整個(gè)制造工藝中的任何一個(gè)摻雜步驟中生成。一個(gè)基于雙極型的掩膜就會(huì)有基本圖形和一套電阻器的圖形。在MOS電路生成源極和漏極的摻雜步驟中,同時(shí)也生成電阻器。電阻器的摻雜參數(shù)(方塊電阻、深度和摻雜量)與晶體管是一樣的。在這些方案中,晶圓上其他所有芯片器件(層)被做完后,形成電阻器的接觸孔。
摻雜型電阻器:集成電NCP4894DMR2G路中的大多數(shù)電阻器都是由氧化、掩膜和摻雜工藝順序生成的(見圖16.2)。在氧化層表面生成一個(gè)圖形。典型的電阻器是啞鈴形的(見圖16.3)。兩端的矩形作為接觸區(qū),中間細(xì)長(zhǎng)的部分起到電阻器的作用。用這個(gè)區(qū)域的方塊電阻和其所包含的方塊的數(shù)量就可以計(jì)算出這個(gè)區(qū)域的阻值。方塊的數(shù)量等于電阻區(qū)域的長(zhǎng)度除以寬度。
在摻雜和隨后的再氧化工藝結(jié)束后,兩端的矩形區(qū)域刻蝕出接觸孔以便將電阻器連接到電路中。一個(gè)電阻器有兩個(gè)接觸點(diǎn),是沒有結(jié)的器件。術(shù)語(yǔ)no-junction的含義是電流在兩個(gè)接觸區(qū)之間流動(dòng),而沒有穿越NP結(jié)或PN結(jié)。然而結(jié)可以起到限制流經(jīng)電阻區(qū)域電流的作用。
由離子注入進(jìn)行摻雜而生成的電阻器比那些在擴(kuò)散區(qū)域生成的電阻囂的阻值更容易控制。摻雜型電阻器可以在整個(gè)制造工藝中的任何一個(gè)摻雜步驟中生成。一個(gè)基于雙極型的掩膜就會(huì)有基本圖形和一套電阻器的圖形。在MOS電路生成源極和漏極的摻雜步驟中,同時(shí)也生成電阻器。電阻器的摻雜參數(shù)(方塊電阻、深度和摻雜量)與晶體管是一樣的。在這些方案中,晶圓上其他所有芯片器件(層)被做完后,形成電阻器的接觸孔。
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