1959年7月,美國Fairchild公司的Noycc發(fā)明了第一塊單片集成電路(如圖1.2所示)。AD1671KQ他利用S⒑2膜制成平面晶體管,用沉積在⒏oo膜上和⒏02膜密接在一起的導(dǎo)電膜作為元器件間的電連接(布線)。

   Noyce發(fā)明的第一塊單片集成電路

   這是單片集成電路的雛形,是與現(xiàn)在的硅集成電路直接有關(guān)的發(fā)明。集成電路的發(fā)明開創(chuàng)了集有源器件與某些元件于一體的新局面,使傳統(tǒng)的電子器件概念發(fā)生了質(zhì)的變化。這種新型的封裝好的器件不僅體積和功耗都很小,而且具有獨立的電路功能。集成電路的發(fā)明使電子學(xué)進(jìn)入微電子學(xué)時代,是電子學(xué)發(fā)展的一次重大飛躍。

   早期研制的集成電路都是雙極型的,1960年以后出現(xiàn)了采用MOs(Mcta1_oxidc¨semi¨conduGtor)結(jié)構(gòu)和工藝的集成電路,從此MOs集成電路得到了迅速發(fā)展。雙極型和MOs集成電路一直處于相互競爭、相互促進(jìn)、共同發(fā)展的狀態(tài)。但由于MOS集成電路具有功耗低、適合于大規(guī)模集成等優(yōu)點,它在整個集成電路領(lǐng)域占的份額越來越大,現(xiàn)在己成為集成電路領(lǐng)域的主流。雖然雙極型集成電路在總份額中占的比例在減小,但它的絕對份額依然在增加,它在一些應(yīng)用中也不會被MOs集成電路所替代。