美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E規(guī)定空氣質(zhì)量由區(qū)域中空氣級別數(shù)來表示。標(biāo)準(zhǔn)按兩種方法設(shè)定,CY6116-55DMB一是顆粒大小,二是顆粒密度。區(qū)域中空氣級別數(shù)是指在一立方英尺中所含直徑為0.5um或更大的顆�？倲�(shù)。一般城市的空氣中通常包含煙、霧、氣。每立方英尺有多達(dá)五百萬個顆粒,所以是五百萬級。隨著芯片部件尺寸的更新?lián)Q代,不斷提高的芯片靈敏度要求越來越小的顆粒。聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)2⒆E規(guī)定最小潔凈度可到一級。因?yàn)?⒆E以0.5um的顆粒定義潔凈度,而成功的晶圓加工工藝要求更嚴(yán)格的控制,所以工程技術(shù)人員和工程師們致力于減少10級和1級環(huán)境中0,3um顆粒的數(shù)量,如表3.6所示。