水氣的控制也是非常重要的。水蒸氣OP249GS是一種氣體,和其他污染氣體一樣,也會導(dǎo)致多余的反應(yīng)。在晶圓制造廠中加工晶圓時帶有水氣是個嚴重的問題。當有氧氣或水分存在時,硅很容易被氧化。所以控制多余的水氣對阻止硅表面的氧化是非常重要的。水氣的上限一般是3~sppm。

   在氣體中有微�；蚪饘匐x子會產(chǎn)生與化學(xué)溶劑污染相同的影響,氣體最終會過濾至0.2um級,而金屬離子也要被控制在百萬分之一以下。由空氣中分離的氣體以液態(tài)形式存儲于廠區(qū)里,在這種狀態(tài)下,氣體溫度很低,而且這種狀態(tài)可冷凍許多雜質(zhì)并儲存于罐底部。特殊氣體是以高壓瓶的形式采購來的。因為特殊氣體大多是有毒或易燃的,所以一般儲存在廠區(qū)外的特制的氣柜中。

   晶圓有大量的工藝時間是在石英器中度過的,如晶圓固定器、反應(yīng)爐石英管、傳送器。石英件也是一種非常大的污染源,通常由散氣與微粒的方式產(chǎn)生。即使是高純度石英也含有許多重金屬離子,這些離子可以從石英中散出來進入擴散與氧化工藝反應(yīng)的氣流中,特別是在高溫反應(yīng)中。這些微粒來自晶圓與晶圓舟的擦傷和晶圓舟與反應(yīng)爐石英的摩擦。