要得到累計成品率,需要首先計算各工藝過程的成品率(Station yidd),即以離開單一工藝的晶圓數(shù)進H12D4840D入此工藝過程的晶圓數(shù):成品率=離開工藝過程的晶圓數(shù)/進入工藝過程的晶圓數(shù)將各次工藝過程的成品率依次相乘就可以得到整體晶圓生產(chǎn)的累計成品率:晶圓生產(chǎn)累計成品率=成品率(過程―D×成品率(過程-2)¨・×成品率(過 程�、�)°表3.14列出了一個I1步的晶圓工藝過程。

   表中第3列列出了各次工藝的典型成品率,累計成品率列在第5列。對單一產(chǎn)品來說,從各次工藝過程計算出的累計成品率與通過晶圓進出計算出的成品率是相同的。也就是說,對這一產(chǎn)品累積成品率與簡單方法計算出的累計成品率是相等的。值得注意的是,即使單個工藝具有非常高的成品率,累計成品率也將隨著晶圓通過工藝繼續(xù)降低,現(xiàn)代的集成電路需要300~500步工藝,這對維持有收益的生產(chǎn)將是巨大挑戰(zhàn)。

   成功的晶圓制造必須使累積成品率超過90%才能保持盈利和具有競爭性。典型的晶圓生產(chǎn)累計成品率在50%~95%之間,這取決于一系列的因素。計算出來的累計成品率被用于計劃生產(chǎn),或者被工程部門和管理者作為工藝有效性的一個指標。