氧化層生長(zhǎng)的化學(xué)成分似乎對(duì)NBTI效應(yīng)有著明顯的影響,氧化氣氛明顯地影響了NBTI效應(yīng),濕氧比干氧有著更差的NBTI性能,但是氟改善了這種效應(yīng),F注入或F在柵氧中的濃度明顯地改善了NBTI性能和1r噪聲。OF400SA100D但是,必須小心地使用F注入,因?yàn)榭赡軙?huì)出現(xiàn)一些有害的影響,比如增強(qiáng)硼穿通或使nMOs性能退化。硼會(huì)促進(jìn)NBTI退化的發(fā)生。

   如前所述,氧化層介質(zhì)電場(chǎng)對(duì)NBTI敏感度有明顯的影響,埋溝器件減小了BTI效應(yīng),但不適用于先進(jìn)的CMOs工藝。希望通過采用中間的功函數(shù)柵材料來減小NBTI敏感度,因?yàn)橛捎诠瘮?shù)的差別和由于平帶電壓的差別(低溝道摻雜濃度),氧化層電場(chǎng)將被減小。基于這些觀點(diǎn),采用全耗盡SC,I可以改善NBTI效應(yīng),因?yàn)樗褂昧说蛽诫s的溝道區(qū),從而導(dǎo)致較低的柵氧化層的電場(chǎng),進(jìn)而改進(jìn)了NBTI效應(yīng)。