交流波形的熱載流孑注入效應(yīng)可靠性評價技術(shù)
發(fā)布時間:2016/6/26 19:54:45 訪問次數(shù):827
直流電壓作用下,熱載流子注入效應(yīng)產(chǎn)生的退化發(fā)生在最大襯底電流(NMOs管)或最大柵極電流(PMOs管)附近。實際上在CMOs電路的瞬態(tài)期間,IXFM21N50直流偏置的加速退化作用是在同時進行的,因此交流失效時間可以從直流失效時間轉(zhuǎn)換過來。利用交流與直流的比例系數(shù)可以計算交流失效時間,該比例系數(shù)等于循環(huán)周期除以波形的上升時間和下降時間之和,交流失效時間等于該比例系數(shù)乘以直流失效時間。這種方法容易使用,計算的失效時間也有足夠的精度,但往往過高估計了熱載流子注入效應(yīng)產(chǎn)生的退化。
交流與直流的實際比例系數(shù)可以從MOSFET的交流波形作用的測試中獲得。交流波形可以用脈沖信號發(fā)生器產(chǎn)生,也可以在測試芯片上設(shè)計一個環(huán)形震蕩器產(chǎn)生交流波形,以避免交流波形寄生效應(yīng)的影響。另外,也可用可靠性軟件來估計交流失效的時間。
直流電壓作用下,熱載流子注入效應(yīng)產(chǎn)生的退化發(fā)生在最大襯底電流(NMOs管)或最大柵極電流(PMOs管)附近。實際上在CMOs電路的瞬態(tài)期間,IXFM21N50直流偏置的加速退化作用是在同時進行的,因此交流失效時間可以從直流失效時間轉(zhuǎn)換過來。利用交流與直流的比例系數(shù)可以計算交流失效時間,該比例系數(shù)等于循環(huán)周期除以波形的上升時間和下降時間之和,交流失效時間等于該比例系數(shù)乘以直流失效時間。這種方法容易使用,計算的失效時間也有足夠的精度,但往往過高估計了熱載流子注入效應(yīng)產(chǎn)生的退化。
交流與直流的實際比例系數(shù)可以從MOSFET的交流波形作用的測試中獲得。交流波形可以用脈沖信號發(fā)生器產(chǎn)生,也可以在測試芯片上設(shè)計一個環(huán)形震蕩器產(chǎn)生交流波形,以避免交流波形寄生效應(yīng)的影響。另外,也可用可靠性軟件來估計交流失效的時間。
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