1.初測

   在工作電壓下測量樣品的泄漏電流,NT407F泄漏電流大于11IA的樣品,不用于下一步的試驗過程。

   2.溫度和恒定電壓應(yīng)力

   試驗的溫度應(yīng)力選擇在85~150℃之間,電壓應(yīng)力選擇在8~13MV/cm之間。

   3.失效判據(jù)

   存在下面任何一種情況時認(rèn)為樣品發(fā)生了失效:氧化層電流急劇增大至1mA:發(fā)生不可恢復(fù)的擊穿失效;相鄰兩個測量點(diǎn)的電流變化)20%。

   4.加應(yīng)力

   在應(yīng)力溫度達(dá)到后施加電壓應(yīng)力,測氧化層電流。當(dāng)發(fā)生氧化層失效,記錄時間,停止試驗,否則計算出累計該步的擊穿電荷么d。

重復(fù)上述步驟,直到電流超過了限定的值。

   5,試驗后測試

   對于在試驗中發(fā)生失效的樣品,用工作電壓進(jìn)行測量,如果測量電流大于1ItA,則認(rèn)為發(fā)生致命失效,否則認(rèn)為是非致命失效。

   6.中位壽命提取

   將每只樣品得到的擊穿時間描繪在對數(shù)正態(tài)概率紙上,給出柵氧化層TDDB累積失效概率分布,從而得到不同電場應(yīng)力下的中位壽命。