其中,層一層生長(zhǎng)模式(或成核一生長(zhǎng)模式,又稱Fra酞~Van dcr Mc…c生長(zhǎng)模式,簡(jiǎn)稱FM或FVM模式)經(jīng)常發(fā)生于晶格匹配和失配比較小, HD64F2318VTE25且襯底與外延層之間的鍵合能高的材料之間。其特點(diǎn)是在襯底表面先進(jìn)行二維成核再擴(kuò)展成層,一層生長(zhǎng)完整后再開(kāi)始新的一層的生長(zhǎng),如此重復(fù)的一種逐層晶體生長(zhǎng)模式。該模式能獲得晶體結(jié)構(gòu)完整表面平坦的外延層。島狀生長(zhǎng)模式(又稱Volll1cr-Webcr生長(zhǎng)模式,簡(jiǎn)稱VW生長(zhǎng)模式)主要發(fā)生于當(dāng)外延層與襯底存在大晶格失配的情況時(shí),在襯底表面會(huì)形成許多三維小島。隨著生長(zhǎng)的繼續(xù)進(jìn)行,這些眾多的小島長(zhǎng)大成為柱狀島,然后它們彼此匯聚,最終構(gòu)成表面粗糙的連續(xù)膜�？梢岳斫庠趰u狀結(jié)構(gòu)中含有大量失配位錯(cuò)以釋放應(yīng)變。通常在外延生長(zhǎng)中一定要盡量避免形成島狀生長(zhǎng),以免晶體質(zhì)量太差。層-島生長(zhǎng)模式(又稱Stranski-IOdstanow生長(zhǎng)模式),其特點(diǎn)是先生長(zhǎng)薄的二維浸潤(rùn)層,當(dāng)達(dá)到形成島的臨界厚度后續(xù)沉積的材料轉(zhuǎn)變?yōu)?/span>三維島狀生長(zhǎng)并在島上聚集。遵循能量最低原理,在島形成的過(guò)程中產(chǎn)生的新晶面一般是能量低的低指數(shù)面。