根據(jù)表1砭中氫化物的分子量,可以計(jì)算每次外延生長(zhǎng)氫化物的使用量。例如,BAS40生長(zhǎng)過程中P比的流量為⒛0sccm,則PHl的mol流量為⒛0/22414=8,9×103mol/min,質(zhì)量流量為8,9×1Cl3mol/min×34g/mol=0.3g/min。如果照此流量通PH3的時(shí)間為2小時(shí),則PH3的使用量為0,3g/min×120min=36g。

   MOCVD中的載氣又稱運(yùn)載氣體,其作用是將參與外延的源材料快速輸運(yùn)到反應(yīng)室,對(duì)載氣的基本要求是純度高、成本低,且不參與外延過程中的化學(xué)反應(yīng)。常用于MOCVD的載氣有H2和惰性氣體N2和Ar等。相對(duì)于N2來說,H2作為載氣在MOCVD中的應(yīng)用更為廣泛,其主要原因是比更容易純化。經(jīng)鈀管純化后的比純度在8N以上,且比具有還原性、便于清潔管道。近年來,因氮?dú)夥肿恿枯^大,載氣輸運(yùn)效果好,己被采用作為GaN基LED外延生長(zhǎng)時(shí)Mo源供應(yīng)系統(tǒng)的主要載氣。而在反應(yīng)腔外延生長(zhǎng)中,不同的外延單層結(jié)構(gòu)需要不同的氫氣和氮?dú)饣旌媳壤?這樣,通常在主管路進(jìn)到反應(yīng)腔時(shí),會(huì)根據(jù)生長(zhǎng)需 要采用不同配比的氫氣和氮?dú)狻Ｔ谏a(chǎn)安全上,需要注意的是H2遇空氣可能形成易燃、易爆的混合氣,必須嚴(yán)格按規(guī)范進(jìn)行操作和使用。N2的作用除了和比一樣作為載氣外,還利用它的惰性進(jìn)行安全操作和維護(hù)處理。使用N2時(shí),一定要配置有效的通風(fēng)和排氣,以免缺氧窒息。