溝道開啟后,當(dāng)漏極電壓進(jìn)一步增大時,會使柵電壓被抑制。在漏端附近的反型層將最終消失,CAP008DG或者說靠近漏端的si/s02界面的溝道載流子濃度開始等于襯底摻雜濃度時可以看成溝道的夾斷。這時漏極上所對應(yīng)的電壓稱為夾斷電壓‰“s⑾,當(dāng)漏電壓超過夾斷電壓時,溝道夾斷部分會增寬,夾斷部分從很小增大到△L的長度。夾斷區(qū)載流子很少,電導(dǎo)較小,超過‰“s⒆的電壓部分主要降落在這里。進(jìn)入夾斷狀態(tài)后,增加漏極電壓會使夾斷點(diǎn)向源端移動。但漏電流不顯著增加或基本不變,達(dá)到飽和,這時所對應(yīng)的漏極電流稱為%※s⑾。在實驗中為了避免引入二次誤差,采用卜/曲線對飽和區(qū)漏源電流進(jìn)行提取。但由于存在溝道調(diào)制效應(yīng)和短溝道效應(yīng),器件在夾斷后幾s⑾不會一成不變,而是隨著漏電流的增大而緩緩增大,如圖9.26所示。理想的幾義satl在夾斷后隨漏極電流的變化是比較小的,可以忽略。但在實際情況下,測量的「/曲線和理想值偏差較

大,所以就要運(yùn)用其他方法獲得兔鼠s⒆。在本處采取導(dǎo)數(shù)擬合的方法來處理。在漏端電壓不是很大的情況下,發(fā)現(xiàn)「/曲線的一階導(dǎo)數(shù)呈現(xiàn)初期增長明顯、后期基本趨近于常數(shù)的特性,如圖9,27所示。