在放大倍數(shù)較低的時候,TEM成像的對比度主要由材料的不同厚度和成分對電子吸收不同造成的。ADS1230而當(dāng)放大率倍 數(shù)較高時,復(fù)雜的波動作用會造成成像亮度的不同,因此需圖⒈31 透射電鏡成像示意圖 要專業(yè)知識對得到的圖像進行分析。透射電子顯微鏡的成像原理可分為3種。

    吸收像:當(dāng)樣品的質(zhì)量大、密度大時,電子入射到樣品上的主要成像原理是散射作用。樣品中質(zhì)量大、厚度大的地方對電子的散射角大,穿透過樣品的電子數(shù)目較少,因此像的亮度較暗。早期透射電子顯微鏡的成像方式都是基于這種原理。衍射像:入射電子束被樣品衍射后,因不同的衍射能力而獲得不同的衍射波振幅分布。

當(dāng)晶體中存在缺陷時,缺陷的衍射能力與規(guī)則排列的晶體不同,致使衍射波的振幅分布不均勻,最后反映出晶體中缺陷的分布。

   相位像:當(dāng)樣品薄至10nm以下時,電子可以透射過測試樣品,透射電 子的波振幅變 化可以忽略,成像來自于相位的變化。

   TEM透射電子束會攜帶樣品信息,成像設(shè)備使用這些信息來成像,將處于正確位置的電子波分布投射到觀察系統(tǒng)上。在成像設(shè)備質(zhì)量很高的情況下,圖像強度j⑺近似與電子波函數(shù)的時間平均幅度成正比。