氣相外延本質(zhì)上是一種化學(xué)氣相沉積,是將含有構(gòu)成外延薄膜元素的氣態(tài)前驅(qū)物或液態(tài)前驅(qū)物的蒸汽通過載氣傳輸?shù)椒磻?yīng)室內(nèi),在維持一定高溫的襯底表面上H9DP32A4JJACGR-KEM通過熱分解與化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的過程。化學(xué)氣相沉積的機(jī)理示意圖如圖5-10所示,沉積過程主要包括

   以下步驟:

   ①氣相前驅(qū)物隨載氣(一般為超純N2或超純H2)傳送至沉積區(qū)域;

   ②前驅(qū)物通過氣流邊界層擴(kuò)散到襯底表面;

   ③前驅(qū)物在襯底表面吸附;

   ④表面化學(xué)反應(yīng),包括前驅(qū)物化學(xué)分解,表面遷移和目標(biāo)產(chǎn)物成核生長(zhǎng);

   ⑤副產(chǎn)物從襯底表面脫附(解吸附);

   ⑥副產(chǎn)物擴(kuò)散至邊界層并進(jìn)入主氣流并被載氣帶出沉積區(qū)域。