中頻電源的逆變器主要有并聯(lián)逆變器和串聯(lián)逆變器,串聯(lián)逆變器輸出可等效為一低阻抗的電壓源,G2RL124VDC當兩電壓源并聯(lián)時,相互間的幅值、相位和頻率不同或波動時將導致很大的環(huán)流,以至逆變器件的電流產(chǎn)生嚴重不均,因此,串聯(lián)逆變器存在并機擴容困難的問題。而并聯(lián)逆變器輸入端的直流大電抗器可充當各并聯(lián)逆變器之間的電流緩沖環(huán)節(jié),使得輸人端的AG/DG或D00G環(huán)節(jié)有足夠的時間來糾正直流電流的偏差,達到多機并聯(lián)擴容的目的。晶體管化超音頻、高頻電流多采用并聯(lián)逆變器結(jié)構(gòu),并聯(lián)逆變器易于模塊化、大容量化是其中的一個主要原因。

   中頻電源的負載對象各式各樣,而中頻電源逆變器與負載是一有機的整體,一般采用匹配變壓器連接中頻電源和負載感應器,高頻、超音頻電源用的匹配變壓器從磁性材料到繞組結(jié)構(gòu)正在得到進一步的優(yōu)化改進,同時,從電路拓撲上可以用三無源元器件代替二無源元器件,以取消變壓器,實現(xiàn)高效、低成本匹配。

   現(xiàn)在的中頻電源的冷卻方式多為水冷卻,存在著水管結(jié)垢、水壓很高、冷卻效果不佳等缺陷,造成晶閘管的過熱損壞,為此,冷卻方式及晶閘管熱保護方案仍需進一步完善。