LPE主要有兩種方式:水平滑動(dòng)法和垂直浸人法。水平滑動(dòng)法是應(yīng)用最廣泛的I'PE方法,因?yàn)?a title="MAX1807EUB" href=" http://www.hqwq.cn/MAX_S/MAX1807EUB.html">MAX1807EUB它能直接生長出厚度和均勻性良好的多層結(jié)構(gòu)外延層。通用的水平滑動(dòng)式LPE系統(tǒng)示意圖如圖3⒛所示,圖中的活動(dòng)爐內(nèi)有滑軌裝置,滑車置于軌道上,滑車上有若干個(gè)裝有不同溶液的熔池,每個(gè)熔池用于生長不同的外延層。例如,一個(gè)熔池中的溶液含有p型摻雜劑,另一個(gè)熔池中的溶液含有n型摻雜劑,用兩個(gè)熔池就可以制備帶pn結(jié)的外延層�；嚺c襯底座緊密配合,當(dāng)把裝有指定溶液的熔池滑動(dòng)至襯底上面時(shí),生長即可開始。溶液槽組件由石墨制成。溶液并不浸潤石墨,這樣當(dāng)滑車移走時(shí)通過擦抹作用使熔融溶液脫離襯底。從而達(dá)到結(jié)柬生長的日的。整個(gè)裝置裝在石英管中,管中一般通人高純氫氣。石英管置于可移動(dòng)的多溫區(qū)爐內(nèi)�？梢酝ㄟ^手動(dòng)或由計(jì)算機(jī)控制的步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的推桿移動(dòng)滑車的位置。通常在溶液槽上安裝有石墨蓋,以防止熔融溶液蒸發(fā)和污染。

   在LPE中,外延層生長速率和厚度是由熔融溶液的過飽和度和襯底與熔融溶液接觸時(shí)間決定的。LPE是熱力學(xué)準(zhǔn)平衡過程,溫度降低快,過飽和度就大,外延速率也就加快。生長速度因襯底晶向不同而差別很大。但是,當(dāng)溫度降低過快時(shí),原子排列時(shí)間太短,外延層生κ質(zhì)量會(huì)下降。相對于VPE和MBE而言,IPE生長速率較快,安全性高,在制備厚的硅外延層時(shí)常被采用。而對于生長非常薄的外延層來說難以實(shí)現(xiàn)可控生長,這和生長起始與終結(jié)的方式有關(guān)。因此薄層外延通常不采用I'E△藝。IPE相對于VPE而言工藝溫度低,互擴(kuò)散效應(yīng)也就不嚴(yán)重,而目~沒有白摻雜效應(yīng),所以雜質(zhì)再分布現(xiàn)象弱。另外,LPE的適應(yīng)性強(qiáng),相對于MBE而言設(shè)備簡單,△藝成本較低,但外延表面形貌通常不如MBE的好。