BN源需要活化后使用,日的是在源表面形成一層鳥O3,擴(kuò)散時在爐管內(nèi)充滿鳥O3氣體�；罨�R3112N271A-TR一般是將硼放人爐管內(nèi),通入氧氣,擴(kuò)散溫度保持半小時以上,化學(xué)反應(yīng)過程為

    4BN+302:00~1000℃`2:2O3+2N2

    由此B擴(kuò)散進(jìn)人Sl。B與⒊晶格失配系數(shù)為0,254,失配大,有伴生應(yīng)力缺陷,造成嚴(yán)重的晶格損傷。在1500℃,D⒔=10v cm2/s時,硼在硅中的最大固溶度達(dá)到4×10⒛cm3,但是最大電活性濃度是5×1019cm3。

   磷擴(kuò)散

   磷擴(kuò)散是n型摻雜使用最多的方法之一,目前多用固態(tài)陶瓷片源,采用開管式方法,以預(yù)淀積和再分布兩步法進(jìn)行。