加速器 離化物質(zhì)失去電子變成離子后,還必須利用一強(qiáng)電場來吸引離子,使離子獲得很大的速度, RF3161TR13以具有足夠的能量注人靶片內(nèi)。離子加速可采用“先加速、后分析”、“先分析、后加速”和“前后加速,中間分析”的方式�！跋燃铀�,后分析”時(shí),分析時(shí)的電磁鐵處于“地”電位,供電調(diào)試方便,但離子經(jīng)加速后具有較高的能量,需要用大型的電磁鐵以產(chǎn)生強(qiáng)大的分析磁場;加速能量改變時(shí),又需要同時(shí)調(diào)節(jié)分析器�！跋确治�、后加速”日寸,分析器較小,改變離子加速能量時(shí)不需要調(diào)節(jié)分析器。但在加速過程中,由于電荷交換作用會(huì)影響束流強(qiáng)度 和注人離子的純度。至于“前后加速,中間分析”的裝置,若分析器不接地,則調(diào)試和供電不便;若分析器接地,則系統(tǒng)處于正、負(fù)高壓,但注入機(jī)能量調(diào)節(jié)方便,范圍寬廣。

   掃描器 通常,離子束流截面是比較小的,約在mm2數(shù)量級(jí),且中間密度大,四周密度小,這樣的離子束流注入靶片,注人面積小且不均勻,根本不能用c掃描就是離子在整個(gè)靶片上均勻注人而采取的一種措施。掃描方式有:靶片靜止,離子束在X、y兩方向上做電掃描;離子束在Y方向上做電掃描,靶片沿X方向做機(jī)械運(yùn)動(dòng);離子束不掃描,完全由靶片的機(jī)械運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)全機(jī)械掃描。其中前兩者用得較多。