加速器 離化物質(zhì)失去電子變成離子后,還必須利用一強電場來吸引離子,使離子獲得很大的速度, RF3161TR13以具有足夠的能量注人靶片內(nèi)。離子加速可采用“先加速、后分析”、“先分析、后加速”和“前后加速,中間分析”的方式�！跋燃铀�,后分析”時,分析時的電磁鐵處于“地”電位,供電調(diào)試方便,但離子經(jīng)加速后具有較高的能量,需要用大型的電磁鐵以產(chǎn)生強大的分析磁場;加速能量改變時,又需要同時調(diào)節(jié)分析器。“先分析、后加速”日寸,分析器較小,改變離子加速能量時不需要調(diào)節(jié)分析器。但在加速過程中,由于電荷交換作用會影響束流強度 和注人離子的純度。至于“前后加速,中間分析”的裝置,若分析器不接地,則調(diào)試和供電不便;若分析器接地,則系統(tǒng)處于正、負高壓,但注入機能量調(diào)節(jié)方便,范圍寬廣。

   掃描器 通常,離子束流截面是比較小的,約在mm2數(shù)量級,且中間密度大,四周密度小,這樣的離子束流注入靶片,注人面積小且不均勻,根本不能用c掃描就是離子在整個靶片上均勻注人而采取的一種措施。掃描方式有:靶片靜止,離子束在X、y兩方向上做電掃描;離子束在Y方向上做電掃描,靶片沿X方向做機械運動;離子束不掃描,完全由靶片的機械運動實現(xiàn)全機械掃描。其中前兩者用得較多。