采用真空蒸鍍工藝淀積薄膜,應從薄膜特性、襯底情況、設備條件這三個方面人手來確定具體工藝參數(shù)和工藝方法。

  薄膜特性是了解所淀積薄膜的材料特性,主要有薄膜材料成分,各種成分的熔點、沸點、 OPA2134UA/2K5分解溫度、平衡蒸氣壓溫度曲線(見圖⒏8)、相圖等。以此來確定蒸發(fā)方法和溫度。

  對于單質(zhì)材料,由平衡蒸氣壓溫度曲線就能確定源大致的蒸發(fā)溫度。

  對于多組分材料,應先確定蒸發(fā)方法,然后,再確定蒸發(fā)溫度。如圖815所示是多組分蒸發(fā)主要的三種方法:單源蒸發(fā)、多源同時蒸發(fā)和多源順次蒸發(fā)。如果源材料各組分的平衡蒸氣壓接近,采用單源蒸發(fā)方法,取各組分的規(guī)定蒸發(fā)溫度的平均值作為試蒸發(fā)溫度,再由實驗確定蒸發(fā)溫度。

  還是以TiW為例,用兩個坩堝,一個放人W,另一個放入⒎,在不同的溫度下蒸發(fā)。雖然對于單源蒸發(fā)而言,這是一個重大改進,但為使W和Tl有相同的淀積速率,兩個坩堝的蒸發(fā)溫度的確定和蒸發(fā)溫度的控制都必須極為精準,這是多源同時蒸發(fā)方法的難題所在。通常是基于蒸發(fā)速率公式來確定a、W的試蒸發(fā)溫度的,在進行了實驗調(diào)整之后才能最終確定蒸發(fā)溫度。

  多源順次蒸發(fā)是多源同時蒸發(fā)的一種替代方法�？梢栽诙嘣聪到y(tǒng)中用打開與關斷擋板的方法來實現(xiàn)多種成分的順次交替淀積,淀積完成后.高溫退火讓各組分互相擴散,從而形成合金。這種方法要求襯底必須能承受退火溫度。