由于光刻機(jī)是技術(shù)難度巨大、高投入、高風(fēng)險(xiǎn)并代表世界超精密設(shè)備制造的最高技術(shù)水平,在激烈的國際競爭中,對光刻設(shè)備制造商的要求越來越高。 M93C46-WMN6TP相對來說,那些設(shè)計(jì)能力差、技術(shù)力量單薄、造價(jià)高的廠商逐漸被淘汰或兼并。目前,已經(jīng)形成被三家巨頭(荷蘭ASMI'公司及日本Nikon公司、Canon公司)壟斷的局面。

   ASML公司大約在1998年前后取得世界市場份額的領(lǐng)先地位,截至~9011年,近3年ASML公司占據(jù)市場份額的75%以上,尤其在高端市場其優(yōu)勢更加明顯,~,OH年的銷售收入為56,51億歐元。目前的產(chǎn)品主要有兩類,即TwiⅡcan(XT系列)和Twinscan(NXE系列)。日本的Nlkon公司是光刻機(jī)的叉一巨頭,其市場份額僅次于ASMI'公司,在最先進(jìn)機(jī)型方面,稍遜于ASMI'公司(但差距不大),只生產(chǎn)⒊epper和⒌anner。雖然Nikon公司的投影光刻機(jī)在集成電路制造方面稍遜于A訕I(yè)L,但其步進(jìn)掃描的大面積投影光刻機(jī)在平板顯示器方面仍為世界領(lǐng)先。日本的Gn°n公司的市場份額比前兩家要低些,技術(shù)也稍落后一點(diǎn),但目前也開發(fā)出了90nm的ArF步進(jìn)掃描機(jī),其光學(xué)投影光刻在平板液晶顯示、磁頭等方面有較大優(yōu)勢。