測量儀器可采用“SZ82型四探針測試儀”,硅片厚度測量用“千分表”。

   SZ82型四探針測試儀原理方框圖如圖肛3所示。儀器電源經(jīng)DGDC變換器,由恒流源TA4017FT電路產(chǎn)生一個(gè)高穩(wěn)定恒定直流電流,其量程分別為10uA、100uA、1mA、10mA、100mA,數(shù)值連續(xù)可調(diào),輸送到1、4探針上,在樣品上產(chǎn)生一個(gè)電位差。此直流信號經(jīng)由2、3探針輸送到電器箱內(nèi)。具有高靈敏度、高輸人阻抗的直流放大器將直流信號放大(放大量程有0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V)。

   測量步驟

   請按儀器使用說明書進(jìn)行測量,在此簡介如下。

   測試準(zhǔn)備。打開電源,儀器通電預(yù)熱約半小時(shí)。將被測樣品放測量臺上,旋下探針,使其與樣品表面接觸良好,并保持一定壓力。