前面講到的成像原理都沒(méi)有考慮到人射和衍射光的偏振態(tài)。其實(shí),它們的偏振態(tài)對(duì)像的對(duì)比度在大數(shù)值孔徑的逐漸變大有著顯著影響。V6F32F304對(duì)于電場(chǎng)方向垂直與人射光同掩膜版表面法線成的人射平面的光,又叫做橫電波(Tmnsverse E1ectric,TE),電場(chǎng)方向不會(huì)隨人射光的入射角度變化而變化,如圖7.68所示。但是對(duì)于電場(chǎng)方向平行于入射平面的光,又叫做橫磁波(transverse magnetic,TM),對(duì)像的對(duì)比度的影響就變得無(wú)法忽略了,如圖7.69所示。這主要是囚為電場(chǎng)的方向不再一致,疊加電場(chǎng)的強(qiáng)度的最大值比兩束光矢量同方向時(shí)的最大值要小,而疊加電場(chǎng)的強(qiáng)度的最小值比兩束光矢量同方向時(shí)的最小值要大,造成像對(duì)比度的下降。所以在仿真計(jì)算中,需要將矢量相加考慮進(jìn)去。為了避免對(duì)比度的損失,我們?cè)?5nm以下的節(jié)點(diǎn)開(kāi)始在光刻機(jī)丨1使用偏振片。常用的偏振方式如圖7.70所示。圖中旋轉(zhuǎn)的X或者Y主要是根據(jù)當(dāng)今動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(Dynamic Random Access Memory,DRAM)盡量縮小單元面積的需要(把存儲(chǔ)單元作成傾斜的)而設(shè)計(jì)的。