如果我們?cè)诠馔恢每凑彰鞴獾耐队?如圖7.63(a)、圖7.63(b)、圖7.63(c)所示,可以看到, V6340RT092對(duì)于σ=1非相干光照明,照明光充滿了整個(gè)光瞳。對(duì)于相干光σ=0,照明光只占據(jù)了光瞳中央很小的一個(gè)區(qū)域,理論上無限小的點(diǎn)。對(duì)于部分相干光,照明光占據(jù)了光瞳的一部分。

   根據(jù)成像理論,至少需要兩束光才能夠完成成像的使命。圖7.64顯示,如果空間頻率處在NA/^與2NA∧之間,如圖7.62所示,相干光的調(diào)制傳遞函數(shù)為0,從圖7.64上理解,光瞳當(dāng)中無法收人+1級(jí)或者―1級(jí)衍射光,因而無法形成干涉條紋,也就無法成像。但是,當(dāng)我們使用部分相干光時(shí)發(fā)現(xiàn),當(dāng)σ值大到一定程度時(shí),在照明區(qū)域的邊緣開始∵出以

下情況:光瞳內(nèi)同時(shí)可以找到0級(jí)和1級(jí)或者-1級(jí)衍射光。也就是說,硅片上開始出現(xiàn)圖像。當(dāng)σ=1,我們可以看到,光瞳內(nèi)同時(shí)可以找到0級(jí)和1級(jí)或者-1級(jí)射光的區(qū)域達(dá)到極大。其實(shí),這些光瞳邊緣的照明光其實(shí)就是斜入射光。斜入射光的存在延伸了系統(tǒng)分辨率,從相干光照明下的NA似延伸到了原來的兩倍:2NA似。