如果我們在光瞳位置看照明光的投影,如圖7.63(a)、圖7.63(b)、圖7.63(c)所示,可以看到, V6340RT092對于σ=1非相干光照明,照明光充滿了整個光瞳。對于相干光σ=0,照明光只占據(jù)了光瞳中央很小的一個區(qū)域,理論上無限小的點。對于部分相干光,照明光占據(jù)了光瞳的一部分。

   根據(jù)成像理論,至少需要兩束光才能夠完成成像的使命。圖7.64顯示,如果空間頻率處在NA/^與2NA∧之間,如圖7.62所示,相干光的調(diào)制傳遞函數(shù)為0,從圖7.64上理解,光瞳當(dāng)中無法收人+1級或者―1級衍射光,因而無法形成干涉條紋,也就無法成像。但是,當(dāng)我們使用部分相干光時發(fā)現(xiàn),當(dāng)σ值大到一定程度時,在照明區(qū)域的邊緣開始∵出以

下情況:光瞳內(nèi)同時可以找到0級和1級或者-1級衍射光。也就是說,硅片上開始出現(xiàn)圖像。當(dāng)σ=1,我們可以看到,光瞳內(nèi)同時可以找到0級和1級或者-1級射光的區(qū)域達(dá)到極大。其實,這些光瞳邊緣的照明光其實就是斜入射光。斜入射光的存在延伸了系統(tǒng)分辨率,從相干光照明下的NA似延伸到了原來的兩倍:2NA似。