成像分系統(tǒng)由照明系統(tǒng)、VA0505D主投影鏡頭以及光強(qiáng)控制子系統(tǒng)組成。照明系統(tǒng)負(fù)責(zé)將激光或者汞燈的出射光調(diào)整為具備一定部分相千性的光,并且將其輸送至掩膜版。主投影鏡頭負(fù)責(zé)將掩膜版散射的光成像于硅片上。鏡頭中含有z方向可移動(dòng)和XY方向可移動(dòng)鏡片。Z方向可移動(dòng)鏡片用來修正軸對(duì)稱像差,如球面像差(sphcrical abermtion)。y方向可移動(dòng)鏡片用來修正非軸對(duì)稱像差,如彗星(coma)像差z氵、Zs。有像差的分類和對(duì)光刻T藝的影響將在后面討論。一般248nm的光刻機(jī)的均方根(Root Mea⒈軋uare,RMS)像差要求在25~60毫波長(zhǎng)范圍內(nèi),雨193nm光刻機(jī)的要求為5~10毫波長(zhǎng)范圍。5個(gè)毫波Κ意味 著在光瞳平面上,任何偏離位相平面的幅度必須在1nn1之內(nèi),這給鏡頭加I提出F極高的要求。Flˉ且,不僅如此,每一個(gè)193nm光刻機(jī)的鏡頭都是由30片左右鏡片構(gòu)成,分到每一個(gè)鏡片上的分?jǐn)偧印髌钜缶透痈吡恕?/span>