光源分系統(tǒng)
發(fā)布時(shí)間:2017/10/29 14:05:01 訪問次數(shù):498
前面講過,光源一般有汞(mercury)燈、準(zhǔn)分子(excimer)激光、激光激勵的放電燈(如極紫外的二氧化碳激光激勵的錫燈)等類型。光源分系統(tǒng)的任務(wù)是將發(fā)射角度整合成為科勒照明形式,并且使得部分相干性可以由使用者在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。 VA05H-001-471如阿斯麥公司的193nm NXT1950i浸沒式光刻機(jī)的部分相干性對傳統(tǒng)照明條件可以做到0.12~O.98可調(diào)。
不僅如此,對于使用激光作為光源的系統(tǒng),還要消除激光的較κ的空間和時(shí)間的相十性,以去除各種原因造成的散射光之間十涉,又叫做散斑(speckle),提高照明均勻性。好在準(zhǔn)分子激光的腔體中的Q值較低(高增益帶來的效果),激光輸出的時(shí)間相干長度較短,模數(shù)較多,其造成的相干性比一般的激光器(如氣體激光器)要低很多。在193nm光刻機(jī)當(dāng)中還需要引入偏振照明的裝置。前面已經(jīng)講到,如果使用橫電波偏振態(tài),系統(tǒng)的對比度不會囚為偏振而受到影響。在照明系統(tǒng)中,需要通過使用起偏器和偏振態(tài)轉(zhuǎn)換器來實(shí)現(xiàn)多種偏振態(tài)。一般是通過使用1/4相位延遲波片,叉叫1/1波片(quarter wave phase retardcr plate或quarter wave plate)與偏振片結(jié)合將已有的偏振態(tài)旋轉(zhuǎn)成任意的偏振狀態(tài)。
前面講過,光源一般有汞(mercury)燈、準(zhǔn)分子(excimer)激光、激光激勵的放電燈(如極紫外的二氧化碳激光激勵的錫燈)等類型。光源分系統(tǒng)的任務(wù)是將發(fā)射角度整合成為科勒照明形式,并且使得部分相干性可以由使用者在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。 VA05H-001-471如阿斯麥公司的193nm NXT1950i浸沒式光刻機(jī)的部分相干性對傳統(tǒng)照明條件可以做到0.12~O.98可調(diào)。
不僅如此,對于使用激光作為光源的系統(tǒng),還要消除激光的較κ的空間和時(shí)間的相十性,以去除各種原因造成的散射光之間十涉,又叫做散斑(speckle),提高照明均勻性。好在準(zhǔn)分子激光的腔體中的Q值較低(高增益帶來的效果),激光輸出的時(shí)間相干長度較短,模數(shù)較多,其造成的相干性比一般的激光器(如氣體激光器)要低很多。在193nm光刻機(jī)當(dāng)中還需要引入偏振照明的裝置。前面已經(jīng)講到,如果使用橫電波偏振態(tài),系統(tǒng)的對比度不會囚為偏振而受到影響。在照明系統(tǒng)中,需要通過使用起偏器和偏振態(tài)轉(zhuǎn)換器來實(shí)現(xiàn)多種偏振態(tài)。一般是通過使用1/4相位延遲波片,叉叫1/1波片(quarter wave phase retardcr plate或quarter wave plate)與偏振片結(jié)合將已有的偏振態(tài)旋轉(zhuǎn)成任意的偏振狀態(tài)。
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